灣芯展規模擴三成 國產半導體加速突圍 逾千企業參展 首次打通半導體硬件與AI應用生態場景

2026灣區半導體產業生態博覽會（灣芯展）昨起一連三日在深圳舉行，吸引海內外半導體產業鏈1,000餘家企業參展。與去年相比，今年展覽規模擴大三成，參展企業增加六成，並首次打通半導體硬件與AI應用生態場景。記者在現場看到，面對歐美持續的技術限制，內地眾多企業持續投入研發，以技術攻關推進產業突破，一批刻蝕機、封裝及檢測設備實現技術躍升，部分高端設備成功出口海外，逐步建立起國際競爭力。

●香港文匯報記者 李昌鴻 深圳報道

據了解，本屆展會設置六個展館、四大主題，參展企業達1,000餘家，較上屆實現顯著增長，匯聚來自22個國家和地區的產業力量，ASML、應用材料、北方華創、中微公司等海內外領軍企業集中亮相，預計將迎來超3,000位國際專業觀眾參會，打造聯通全球的半導體產業交流窗口。另外，本屆展會全新增設AIE AI基礎設施產業生態展，立足大灣區智能終端、汽車電子、低空經濟等豐富應用場景，打通「芯片─算力─應用」完整產業閉環，拓展半導體產業全新應用疆土。

封裝檢測刻蝕技術提升

記者在現場走訪發現，多家展商表示，今年展示產品範圍與去年大體相當，但產品的技術指標和工藝能力有明顯進步。從先進封裝、真空回流焊、檢測量測，到刻蝕設備、控制方案與核心零部件，一批企業集中展示面向AI芯片、HBM存儲和第三代半導體的最新成果。

深圳國資委旗下的新凱來，去年因集中展示多款國產半導體設備而備受關注，今年再次亮相展會。在今年灣芯展上，新凱來重點對外展示了其「系統化量產能力」。展台圍繞工藝裝備和量檢測裝備兩大方向，覆蓋刻蝕、擴散、薄膜沉積、光學檢測、光學量測等半導體製造的多個關鍵環節。

新凱來現場展示的產品手冊，與去年相比新增兩款設備：PMI（六盤山）圖形掩模缺陷檢測設備和mEBI（井岡山）多電子束晶圓缺陷檢測設備，後者集成AI缺陷檢測功能，新凱來的設備正從樣機發布階段，走向量產落地和體系化布局。另據其展台相關人士稱，新凱來物理與X射線量測相關產品單台售價為千萬元級別，光學檢測和光學量測相關單台產品售價為億元級別。

記者在中微公司展廳採訪時，其工作人員表示，公司展出的多款刻蝕機達到國際先進水平，部分型號達國際領先水準。公司刻蝕設備的核心優勢在於高深寬比刻蝕，也就是業內所說的「挖得深、挖得直」。在邏輯芯片領域，公司設備可支持3nm、5nm級別製程；在存儲芯片領域，隨着3D堆疊層數不斷增加，對刻蝕深度和精度要求更高，公司設備具有明顯優勢。

據中微公司介紹，目前公司研發的國產刻蝕設備出貨量在內地領先，海外客戶包括台積電、三星等；內地客戶佔比也隨着國產替代加速，近年逐步提升。

在上海微電子展廳，該公司展示的KrF掃描投影光刻機，可以滿足芯片前道110納米及以上的光刻製程。其工作人員表示，該產品已經批量供應給內地多家芯片製造企業，可有效支撐內地成熟製程芯片生產需求；公司同時展示了一款用於封裝的光刻設備，吸引不少業界人士來諮詢。

港企與高等院校合作研發

港資企業亦積極把握內地半導體產業機遇，不斷轉型升級。日東科技工作人員廖先生對香港文匯報表示，公司很多年前從傳統SMT貼片機業務拓展至芯片封裝設備領域，目前主營三大板塊：傳統SMT回流焊與波峰焊、半導體鍍金與貼合點膠、半導體封裝設備。公司與清華、北大、哈工大及香港中大、科大等高校展開合作研發。

該工作人員還介紹，真空回流焊是公司最高端產品，單價超過100萬元人民幣。目前產品已出口以色列、泰國等國家，海外市場年均增長約10%，並逐步向北美拓展。內地仍是核心市場，去年銷售增長約16%，今年有望接近20%。