EUV光源系統樣機首亮相 最快三年量產

香港文匯報訊 正在國家會展中心（上海）舉行的第二十六屆中國國際工業博覽會上，中國半導體設備研發企業朗道燧岩（上海）科技有限公司（朗道燧岩）首次公開展示了一台EUV光源系統樣機。這是目前公開展示中進度最靠前的國產EUV光源樣機，被稱作高端光刻機的心臟。

國產化率達90%

極紫外光源是7nm及以下先進製程芯片製造的三大核心零部件之一，長期受海外技術壟斷與禁運限制，是制約中國高端芯片自主可控的關鍵環節。現場工作人員介紹，本次展出的光源系統國產化率達90%，絕大多數核心零部件為自主研發，技術路線與國際領先廠商一致，可用於芯片曝光測試。不過，該光源系統距離量產仍需3至5年時間。

朗道燧岩官網顯示，其低功率EUV光源系統FlintNano LPP-OXXO已處於產品化階段，驅動激光功率為1000W，激光頻率1至20kHz，轉換效率大於2%，EUV能量大於15W，持續工作時間超過100小時，等離子體尺寸60微米。高功率極紫外光源系統FlintMicro-LPP系列則已完成原理論證。

另外，在今年灣芯展上，新凱來旗下萬里眼帶來的90GHz超高速實時示波器成為展會焦點。 萬里眼工作人員透露，該產品目前需求旺盛，已進入多家國內頭部客戶的研發測試環節，產能有點跟不上。

這款示波器帶寬達90GHz，位居全球第二，打破了西方國家對中國60GHz以上實時示波器的出口管制。它採用全新慧眼架構，採樣率高達每秒2,000億次，存儲深度達40億樣點，能夠精準捕獲並分析納米芯片的瞬態信號。萬里眼CEO劉桑透露，產品已實現商用，下單後5至8周可交付，已在華為等多家企業和科研單位應用。