【本報專訪】第三代半導體兩中試線料明年運作

微電子研發院行政總裁高騰：保港半導體研發持續發展

科技是第一生產力，創新是第一動力。香港正積極發展成國際創科中心，在對接國家以科技創新引領新質生產力發展，建設現代化產業體系方面，微電子及半導體研發是其中的重要焦點。特區政府斥資28.4億元的香港微電子研發院（MRDI）早前正式成立，旨在強化「政產學研」合作，促進本港微電子「從一到N」的科研成果轉化。本月初新上任的研發院行政總裁高騰，日前接受香港文匯報獨家專訪，講述研發院的發展大計，包括全力設立兩條第三代半導體中試生產線，分別聚焦碳化硅（SiC）和氮化鎵（GaN）材料，預計在明年上半年通線並開始運作；同時，研發院正密鑼緊鼓招兵買馬組建團隊，並作好戰略規劃和改進模式設計，以確保香港的半導體研發可持續發展。 ●香港文匯報記者 鍾健文

香港微電子研發院近日宣布，任命高騰為行政總裁，任期由2025年1月2日起。高騰在創科領域有30年的跨國管理營運經驗，包括曾在全球著名、總部位於比利時的半導體領先研究機構IMEC研習及工作20年，他亦曾為IMEC中國的首任總經理，及多個內地微電子機構的高層，促進半導體研究生態系統發展。MRDI董事局期待他帶領研發院在微電子領域的發展，促進「從一到N」的科研成果轉化。

中試線成為連接創新研究與量產橋樑

高騰日前接受香港文匯報專訪時分享研發院的工作規劃，當中的重點就是在元朗創新園的微電子中心設立兩條面向第三代半導體技術的8吋中試線，分別負責碳化硅和氮化鎵的試產。

他解釋，中試線是微電子產業流程中連接創新研究與量產之間的關鍵環節，科研產品必須經過中試線的測試認證方可投入量產，不過，由於其高投入和高成本，非一般企業所能承擔，導致微電子設計往往未能快速商品化，優勢無法完全發揮，兩條中試線將填補中試缺口縫隙，為香港做好連接創新研究與量產的橋樑，以滿足企業和大學的中試需求，助力科研成果更快商業化、產品化。

他續指，這兩條中試線將具備小量產能力，並按照量產線的規範要求來建設和管理，以確保所研發出的成果對量產線有直接價值，因此「工程是挺大的」，包括廠房要有特殊設計，潔淨室也須由專業人員進行設計和裝修。

此外，設備採購也很重要，除了一般半導體生產的光刻工具，多晶硅、金屬蝕刻等乾蝕刻工具，化學氣相沉積等薄膜及金屬化工具，晶圓管理、設計和模擬的電腦軟件外，也要有針對性的特定設備，如供碳化硅的高溫離子注入機，以及氮化鎵的原子層沉積等。他強調，作為研發院，設備的配置不會簡單去複製現有量產線，而要同時考慮如何配合未來看好的技術發展。

他透露，預期廠房可於今年底完成建設，並於明年上半年完成中試線組裝和配套準備，隨後便可通線，開展創新工藝研發。

積極「搶人才」 預期聘200人

新成立的研發院亦會積極「搶人才」，高騰指，預期會聘用200人，當中170名是科研人員，但亦要求較多的產業經驗。他直言，這方面香港本地人才相對偏少，所以會進行全球招聘，現時他已與多個潛在人選進行接觸，特別是最重要的幾個技術崗位。

此外，他提到，放眼全球，成功的半導體研發機構範例並不是很多，主因在於設備投入巨大，並要按照量產線的標準進行維護，因此維護成本也很高；而且，所買的設備一旦開機之後，在沒特殊情況下不允許關機，因為一旦關機，原先設定的各種指標就會偏移，需要重新花很多時間去調試；同時也要保證潔淨度，通過空氣不斷循環過濾來確保滿足相關的潔淨度要求。因此，做好研發院模式設計亦是他上任後的重要工作。

他笑言，正好自己對IMEC的成功案例比較了解，希望以此為基礎進行思考和改進，確保研發院可持續發展，「當然，絕對不是簡單的複製，因為各自的生態環境和歷史階段都不一樣，面臨的挑戰也不太相同。」

香港微電子研發院主要發展方向

科研領域專業性　專注於微電子領域，擁有專業的科研團隊和設施，為第三代半導體等技術領域的研發提供了強大支持。

產學研合作平台　提供了一個促進學術界、產業界和研究機構合作的平台，推動知識交流和技術轉移。

技術發展與應用　致力解決微電子領域的關鍵技術問題，並將研究成果應用於實際產業中，推動技術的應用和轉化。

中試線設施　擁有中試線設施，可將創新研究項目轉化為產品，為研究和設計提供實際的生產支持。

內地及國際合作與交流　積極與內地及國際間的相關機構和企業合作，促進環球技術交流與合作，推動微電子領域的全球發展。

資料來源：MRDI