半導體技術再突破　首片國產光罩保護膜發布

（香港文匯網記者 王莉）25日，首片國產光罩保護膜在浙江紹興正式發布，這不僅實現了中國自主研發生產光罩保護膜產品「零」的突破，同時也補齊了中國半導體材料產業鏈的重要一環。

據了解，光罩保護膜對於5納米及以下節點半導體製作過程中的穩定性至關重要，然而由於材料、技術、工藝等受限，長期以來，中國使用的光罩保護膜完全依賴進口。國產光罩膜研發企業、紹興芯鏈半導體科技有限公司總經理李佳珍介紹：「以前該產品在配方方面，中國沒有廠商可以生產，在工藝方面，旋塗、烘乾等技術複雜，厚度、透光率等要求嚴苛。所以一直都是一項『卡脖子』的技術難題。」

她表示，從研發到試生產，再到產品的最終呈現，是中國整合半導體光罩材料產業鏈的重大突破。如今公司也成為了中國唯一、世界唯二能生產光罩保護膜、 BIM及PSM光罩基板的廠家。未來還將圍繞高端半導體材料提供更高質量的產品，持續加大研發投入，逐步實現先進光罩上游材料的量產。

該項目投資方、高榕資本相關負責人袁烽表示：「該項目不僅打破我國對該領域關鍵材料的進口依賴，有效填補國內產品空白，也將進一步提升中國光罩保護膜技術能力，實現半導體產業延鏈補鏈強鏈。因此我們對它的投資，無論從商業還是戰略性價值都極具影響意義。」