國內首條12英寸晶圓再生生產線合肥量產

（香港文匯網記者趙臣 合肥報道）國內首個立項的十二英寸晶圓再生項目——合肥至微項目，日前在安徽省合肥市實現量產。該晶圓再生項目是服務於中國半導體高階市場的首條投產的12英寸晶圓再生產線，填補當下產業鏈的空白。項目全面達產後，可形成每年168萬片晶圓再生及120萬件零部件清洗的能力，滿產後年產值至少可超過6億元。

「晶圓再生」指通過去除損耗控擋片表面的雜質和缺陷，使處理後的晶圓達到新片的標準，實現循環利用，進而為企業節約大量成本。合肥至微項目位於合肥新站高新區，項目總投資近10億元，是至純科技旗下晶圓再生和半導體部件再生項目載體。該項目以14納米晶圓廠的再生晶圓需求為設計基礎，服務於中國半導體高階市場。此前，國內高階的晶圓再生需求都要送到日本、中國台灣等地處理，隨着合肥至微晶圓再生項目的成功量產，如今在合肥新站高新區就可以滿足高階晶圓再生需求。