受一戰中主要交戰國大規模使用化學武器的「啟發」，在一戰尚未結束的1918年5月31日，日本陸軍省兵器局便設立了「臨時毒氣調查委員會」，次年4月成立「陸軍科學研究所」，專責毒氣與化學武器研究。1922年，在歐美參與一戰毒氣調查的久村種樹返回日本，在富山原設立陸軍研究所第二課化學武器科開始相關研究。1925年6月，美、英、法、德、日等37國於瑞士日內瓦，簽署旨在禁止使用生化武器的議定書，但在此前一個月，日本陸軍科學研究所落成。1928年日內瓦議定正式生效，1929年11月，日皇裕仁親自視察陸軍科學研究所。1933年4月，日陸軍大臣荒木貞夫簽署《陸軍習志野學校令》，正式設立學校。
步平、高曉燕、笪志剛共同編著的《日本侵華戰爭時期的化學戰》一書指出，習志野學校秘密以化學戰培訓為目的，儘管只存在12年，但侵華日軍中絕大部分化學戰人員均出於此。從戰後披露的大量日軍化學戰戰例和當時的總結報告，都蓋有「陸軍習志野學校」印章。初步統計，該校培訓化學戰軍官逾萬名，並被作為骨幹充實到作戰部隊進行化學戰普及與教育，此令日軍接受化學戰教育和訓練的人數達10萬眾。
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